采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200810233361.5 （22）申请日 2008.12.17 （71）申请人 重庆大学

地址 400033 重庆市沙坪坝区沙正街174号

（10）申请公布号 CN101435836A

（43）申请公布日 2009.05.20

（72）发明人 李伟;温志渝;易继昆 （74）专利代理机构 重庆华科专利事务所

代理人 康海燕

（51）Int.CI

G01R27/02; G01R23/02;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

采用文氏桥振荡电路测量液体电导率的频率检测器

（57）摘要

本发明涉及一种采用文氏桥振荡电路测量

液体电导率的频率检测器，由MEMS器件和电路共同构成，所述MEMS器件是利用硅微加工技术制作的两个等值的电容器，电容器的介质是被检测液体，所述MEMS器件被固定在PCB板上与电路相连，构成一个文氏桥振荡电路及信号采集的后处理电路。检测时，被检测液体被注入频率检测器

件或者频率检测器件放入被检测液体中，由于对应不同电导率的液体，频率检测器的电容值不同，文氏桥振荡电路的振荡频率不同，因此可以通过检测文氏桥振荡电路的振荡频率测量液体的电导率。这种检测器具有灵敏度高，抗干扰能力强，检测方便等优点，而且利用MEMS技术制作的微型器件，易于检测仪器的微型化，也方便与其它传感器集成构成多参数的微型检测仪器。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

2009-05-20 公开

2009-07-15 实质审查的生效 2011-01-26 授权 2015-02-04

专利权的终止

法律状态

公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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