专利名称：一种高灵敏度压力传感器及其制作方法专利类型：发明专利发明人：陈巧
申请号：CN201910891454.5申请日：20190920公开号：CN110567619A公开日：20191213
摘要：本发明涉及一种高灵敏度压力传感器及其制作方法，采用全新一体化设计工艺，通过刻蚀一系列操作，获得所设计高灵敏度压力传感器，能够形成应力集中区域，同时保证线性度，提高压力检测的灵敏度，其中，通过四个压阻体（4）的纵向布置，形成4个敏感电阻，构成惠世通电桥，其中边缘两个承受压应力，中间两个承受拉应力，由于四个敏感电阻完全一样布置，且初始电阻相同，则实际应用中，具有近乎完美的零点输出，大大提高了压力传感器的检查精度。
申请人：南京皮埃尔智能传感技术有限公司
地址：210000 江苏省南京市麒麟高新技术产业开发区智汇路300号B单元2楼
国籍：CN
代理机构：南京经纬专利商标代理有限公司
代理人：田凌涛
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