专利名称：用于半导体应用的精确温度测量专利类型：发明专利发明人：什里坎特·洛霍卡雷申请号：CN200680011059.4申请日：20060317公开号：CN101156056A公开日：20080402
摘要：一种确保精确的原位温度测量的温度传感元件。该温度传感元件设置于该处理室中。该温度传感元件具有空腔，透明盖体设置于该空腔的开口上方。材料设置于该温度传感元件的空腔内，并且传感器被配置为透过该透明盖体传感该材料的相变。
申请人：朗姆研究公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
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