专利名称：一种能提高表面硬度的新型镀膜装置及镀膜方法专利类型：发明专利发明人：杜斌,卢军
申请号：CN202011322917.5申请日：20201123公开号：CN112725757A公开日：20210430
摘要：本发明公开了一种能提高表面硬度的新型镀膜装置及镀膜方法，将基片放置在所述卡槽的底部，所述气孔与所述连通孔形成密闭的空间，利用所述第二真空泵产生的负压将所述基片固定，通过所述电机的旋转调换两个所述固定板的位置，通过所述加热板对所述箱体内部的基片镀膜，同时将新的基片固定在所述固定板上，镀膜完成后，再次利用所述电机调整位置，使得镀膜完成的基片旋转至所述箱体的上方，停止其对应的所述第二真空泵，取下镀膜完成的基片，固定新的基片，通过两个所述固定板，对一批基片镀膜的同时，对另一批的基片进行固定，镀膜完成后，切换至另一批基片进行镀膜，不需要停止所述加热板的运行，提升了生产效率。
申请人：苏州鼎利涂层有限公司
地址：215132 江苏省苏州市相城区黄桥街道黄桥村(旺盛路)
国籍：CN
代理机构：北京挺立专利事务所(普通合伙)
代理人：郭建军
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