（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910885782.4 （22）申请日 2019.09.19
（71）申请人 台湾积体电路制造股份有限公司
地址 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
（10）申请公布号 CN110931377A
（43）申请公布日 2020.03.27
（72）发明人 刘晏宏;杨明耀;陈哲夫
（74）专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 徐金国
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
反射率测量系统与方法
（57）摘要
一种反射率量测系统与方法。反射率测量
系统包含工厂接口、蚀刻工具以及至少一测量装置。工厂接口用以乘载晶圆。蚀刻工具耦接于工厂接口，并用以处理从工厂接口传送的晶圆。测量装置设置于工厂接口、蚀刻工具或其组合之内。测量装置用以执行对晶圆的反射率的即时量测，其中晶圆由工厂接口或蚀刻工具乘载。
法律状态
法律状态公告日
2020-03-27 2020-03-27 2020-04-21
公开 公开
法律状态信息
公开 公开
法律状态
实质审查的生效 实质审查的生效
权利要求说明书
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说明书
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