（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201020107968.1 （22）申请日 2010.02.04 （71）申请人 西安理工大学
地址 710048 陕西省西安市金花南路5号
（10）申请公布号 CN201626999U
（43）申请公布日 2010.11.10
（72）发明人 焦尚彬;刘丁;李琦;蒋剑;袁文愈 （74）专利代理机构 西安弘理专利事务所
代理人 罗笛
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
单晶炉勾形磁场装置
（57）摘要
本实用新型公开的一种单晶炉勾形磁
场装置，包括屏蔽护罩，屏蔽护罩的一侧设置有水路，水路的外部设置有水路护罩，屏蔽护罩的下方设置有升降机构，升降机构的一侧设置有用于驱动升降机构的升降电机，屏蔽护罩内平行设置有上层线圈和下层线圈，上层线圈包括十组单组线圈，下层线圈包括十五组单组线圈，单组线圈采用四根空心方铜管并行绕制成纵向两层、横向十二匝、共二十四匝的圆形线圈，单组线圈包括奇数组线圈和偶数组线圈。本实用新型磁场
装置，不仅能产生满足大直径单晶炉生产极大规模集成电路单晶所用的磁感应强度，而且能有效带走线圈产生热量，降低线圈温度，从而减小线圈电阻，降低系统功率；同时连接和安装方便。 法律状态
法律状态公告日2010-11-10 2010-11-10 2020-02-28
法律状态信息
授权 授权 专利权的终止
法律状态
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专利权的终止
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说明书
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