一种TiN-Ag纳米复合涂层及其制备方法与应用

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610278260.4 （22）申请日 2016.04.29 （71）申请人 天津师范大学

地址 300387 天津市西青区宾水西道393号

（10）申请公布号 CN105862001A

（43）申请公布日 2016.08.17

（72）发明人 李德军;许双志;董磊;顾汉卿;万荣欣 （74）专利代理机构 天津市杰盈专利代理有限公司

代理人 朱红星

（51）Int.CI

C23C14/35; C23C14/06; C23C14/16; A61L27/30; A61L27/50; A61L27/54;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种TiN-Ag纳米复合涂层及其制备方法与应用

（57）摘要

本发明公开了一种TiN‑Ag纳米复合涂层

及其制备方法与应用。它是由磁控共溅射沉积得

到的复合薄膜，溅射过程中溅射过程中保持一定的基底温度，获得的厚度在0.5um~1um之间。通过实验调节制备过程的基底负偏压，得到的TiN‑Ag纳米复合涂层相比基底硬度提高明显，Ag元素均匀分布在TiN膜中，接触角明显低于没有掺杂Ag的TiN薄膜，亲水性好，并且细胞相容性得到提高，有望用于改善钛合金在生物医学上的应用。本发明所述的方法形成的材料结构稳定，方法可重复，制备条件可控。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

2016-08-17 公开 2016-08-17 公开

2016-09-14 实质审查的生效 2016-09-14 实质审查的生效 2019-04-05

授权

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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