（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201880074219.2 （22）申请日 2018.10.18 （71）申请人 ASML荷兰有限公司
地址 荷兰维德霍温
（10）申请公布号 CN111356956A
（43）申请公布日 2020.06.30
（72）发明人 黄仰山;P·T·吕特格尔斯
（74）专利代理机构 中科专利商标代理有限责任公司
代理人 王益
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
定位系统和相对于框架定位子平台或平台的方法
（57）摘要
一种相对于参考物体定位由主平台(5)支
撑的子平台(9)的方法，所述子平台能够沿着方向(7)相对于所述主平台在第一位置和第二位置之间移动。所述方法包括通过使用无源力系统来定位第一平台，所述无源力系统通过定位所述主平台被激活。所述无源力系统包括两个磁体系统(119，121)，每个磁体系统配置成以非接触的方式沿着所述方向相对于第二平台向第一平台施加力，所述力导致由所述无源力系统沿着所述方向
施加到所述第一平台的合力。所述合力的量值和/或方向取决于所述第一平台相对于所述第二平台的位置，所述第一平台具有在所述第一位置和第二位置之间的零力位置，所述合力在所述零力位置为零。
法律状态
法律状态公告日
2020-06-30
法律状态信息
公开
法律状态
公开
权利要求说明书
定位系统和相对于框架定位子平台或平台的方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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