专利名称：一种基于热电堆的无线温度传感器专利类型：实用新型专利发明人：张巧杏,张国珠,袁*申请号：CN202020553424.1申请日：20200328公开号：CN211954451U公开日：20201117
摘要：本实用新型涉及一种基于热电堆的无线温度传感器，其特征在于包括基体，所述基体的上下表面分别设置有上层氮化硅和下层氮化硅，所述上层氮化硅的设置有四排多晶硅条组，四排多晶硅条组形成口字形结构，每排多晶硅条组包括并排布置的多根多晶硅条，所述上层氮化硅的表面设置有多根金属条，多根金属条将所有的多晶硅条串联，在上层氮化硅的表面设置有热阻层，热阻层的中心为矩形的空腔，在该空腔处露出矩形的上层氮化硅，该处的上层氮化硅形成基于热电堆的无线温度传感器的红外辐射区。本实用新型得到了较为稳定的介质膜支撑方案，显著提高了成品率，并且通过该工艺得到的热电堆红外探测器，其性能相对于传统的热电堆探测器得到了较为明显的提高。
申请人：无锡豪帮高科股份有限公司
地址：214000 江苏省无锡市胡埭镇胡阳路1号
国籍：CN
代理机构：江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙)
代理人：曹键
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