专利名称:一种定向凝固法准单晶硅生长炉专利类型:实用新型专利发明人:苏文佳,左然
申请号:CN201320753560.5申请日:20131126公开号:CN203613300U公开日:20140528
摘要:本实用新型提供一种定向凝固法准单晶硅生长炉,包括石英坩埚、石墨坩埚、DS块和氩气冷却进口管,石英坩埚内底部开若干籽晶凹槽,在DS块上开氩气冷却孔和氩气流道,该流道最终使氩气沿DS块的四周流入炉体,底部氩气冷却进口管构成底部氩气强制冷却系统。使用该系统时,针对熔料、生长和收尾的不同阶段,控制底部氩气冷却进口管的氩气流量,从而控制籽晶的熔接、固液界面保持水平并略凸以及晶体硅和熔体硅的轴向温度梯度。与现有准单晶生长方法中籽晶铺满石英坩埚底部相比,籽晶用量大大减少,节约成本,准单晶硅的单晶率可达95%以上,大大提高了太阳光伏电池的效率。
申请人:江苏大学
地址:212013 江苏省镇江市京口区学府路301号
国籍:CN
代理机构:南京知识律师事务所
代理人:汪旭东
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