专利名称：一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量
方法
专利类型：发明专利
发明人：李得天,成永军,冯焱,徐婕,郭美如申请号：CN201010523159.3申请日：20101026公开号：CN101995275A公开日：20110330
摘要：本发明涉及一种基于静态膨胀法真空标准的极小气体流量测量方法，包括以下步骤：(1)对校准室及连接真空管道抽气；(2)对装置整体进行烘烤除气；(3)控制校准室内达到10Pa数量级的极限真空；(4)使校准室内的压力缓慢上升；(5)给静态膨胀法真空标准的前级充入一定压力的高纯气体；(6)将校准室内的气体通过小孔引入到真空系统中；(7)根据小孔的流导和气体压力衰减系统内的压力得到气体流量。本发明所述方法用静态膨胀法真空标准产生的气体压力代替固定流导法气体流量计的充入气体压力，这样避免用电容薄膜规或磁悬浮转子规测量压力，从而进一步提高气体流量的测量精度。
申请人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所
地址：730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号
国籍：CN
代理机构：北京理工大学专利中心
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