石英坩埚检验规范

1.目的

为指导石英坩埚检验作业活动，特制订本规范。 2.适用范围

本规范适用于单晶生长使用。 3.外观检测要求

表面平整，无裂纹、无崩边、无缺角等外观缺陷。 4.抽样方案

4.1厂内进料检验：抽检产品的关键尺寸；关键尺寸参照图纸；抽样依MIL-STD-105E之S-Ⅱ，AQL

为2.5。

4.2外出检验要求：全检 5.检验项目（厂内进料检验） 5.1尺寸

项目 厚度 外径 18寸石英坩埚 10±0.5mm 456（+3/-2）mm 20寸石英坩埚 11±1mm 504（+3/-2）mm 22寸石英坩埚 12±2mm 556（+3/-2）mm 工具 核对厂家报告单 卡尺 5.2包装要求

5.2.1 每批产品出厂时应附有相应的品质检验报告。

5.2.2 检验报告书上应写明产品名称、规格、数量、生产日期、制造厂名、商标和产品标准号。 5.3检验步骤

5.3.1收到厂家检查报告单。 5.3.2检验外径

5.3.3将检查后的合格坩埚用原纸箱盖好，做好相应标示；不合格的坩埚单独存放，并做好包装和

标示，

5.3.4填写辅材检验日报表 6.外出检验要求：

6.1表面：石英坩埚内表面必须光滑，不能太粗糙。

6.2气泡与气泡群：在石英坩埚直壁上直径小于2mm允许出现气泡群且小于5个。气泡直径不允许大

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于2.5mm，1.5-2.5mm的气泡不允许超过2个，1.0-1.5mm 的气泡不允许超过4个，0.5-1.0 mm的气泡不允许超过5个,0.5 mm 气泡以下的可忽略不计(气泡两间距大于80mm)。

6.3黑点：石英坩埚上口40mm内表面黑点直径小于3 mm 允许1个；弧度以下直径小于1mm黑允许2

个；直壁上表面中直径小于1 mm 允许2个，内黑点直径0.5mm 以下的可忽略不计，两黑点间距大于80mm。

6.4白斑：石英坩埚内白斑直径0.5以下的忽略不计，0.5-3mm的白斑不能超过3个且均匀分布，白斑直径不能大于3 mm两点的间距大于80 mm。

6.5凸点：石英坩埚直壁上表面≤0.5mm且表面光滑允许一个。 6.6裂痕：石英坩埚里一律不准有裂痕。 6.7划痕: 石英坩埚里一律不准有划痕。 6.8凸起气泡：石英坩埚内不准有凸起气泡。

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